UHP Produkte sind Komponenten für Systeme, in denen ein extrem hohes Maß an Reinheit erforderlich ist. Sie werden in Installationen für hochreine Gase und Flüssigkeiten eingesetzt, wobei Materialauswahl, Oberflächenqualität, Reinigung und Abdichtung direkten Einfluss auf die Prozesszuverlässigkeit haben. UHP Komponenten wurden entwickelt, um Kontaminationen zu begrenzen und Installationen für Prozesse geeignet zu machen, in denen selbst kleine Abweichungen unerwünscht sind.

Unternehmen entscheiden sich für UHP Produkte von SKS, wenn Prozessreinheit, Dichtheit und Zuverlässigkeit besonders wichtig sind. In UHP Installationen geht es nicht nur um den Transport von Medien, sondern auch um die Begrenzung von Risiken wie Partikelbildung, Leckage und Restverschmutzung. UHP Produkte helfen, Prozesse stabiler und besser kontrollierbar zu machen.

UHP Produkte werden in Umgebungen eingesetzt, in denen Prozessreinheit entscheidend ist. Sie kommen unter anderem in der Halbleiterindustrie, TFT/LCD- und Solarindustrie zum Einsatz, wo saubere Verbindungen, Systemintegrität und kontrollierte Medienübertragung von großer Bedeutung sind.

Zum UHP Programm von SKS gehören verschiedene Produktgruppen für ultrareine Anwendungen. Dazu zählen UHP Rohre, Micro Schweissfittings, Armaturen, Filter, Ventile und Regulatoren. Damit lassen sich High Purity Systeme mit Komponenten aufbauen oder erweitern, die zu den Anforderungen kritischer Prozessumgebungen passen.

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High Purity (HP) und Ultra High Purity (UHP) werden beide in Prozessen eingesetzt, bei denen ein hohes Maß an Reinheit erforderlich ist. Ultra High Purity geht jedoch noch einen Schritt weiter. UHP Komponenten werden nach sehr strengen Anforderungen hergestellt, gereinigt und verpackt, um das Risiko einer Kontamination auf ein Minimum zu reduzieren. Dadurch eignen sie sich für kritische Anwendungen in der Halbleiterindustrie, in Laboren und in anderen Umgebungen, in denen selbst kleinste Verunreinigungen den Produktionsprozess beeinflussen können.

Die Oberflächenrauheit eines UHP Rohrs hat einen direkten Einfluss auf die Reinheit des Prozesses. Je glatter die Innenfläche des Rohrs ist, desto geringer ist das Risiko, dass sich Partikel, Feuchtigkeit oder andere Verunreinigungen am Material festsetzen. Dies sorgt für einen besseren Gasfluss, eine einfachere Reinigung und ein geringeres Kontaminationsrisiko. Deshalb werden UHP Rohre mit verschiedenen Oberflächenbeschaffenheiten geliefert, die auf die Anforderungen Ihres Prozesses abgestimmt sind.

UHP Komponenten werden in der Regel aus hochwertigem Edelstahl 316L gefertigt, da dieses Material eine ausgezeichnete Korrosionsbeständigkeit und eine hohe Materialreinheit bietet. Für kritische Anwendungen wird das Material sorgfältig ausgewählt und vollständig rückverfolgbar geliefert. So können Sie sich auf eine gleichbleibende Qualität verlassen und sicher sein, dass die Komponenten die hohen Anforderungen der Halbleiterindustrie erfüllen.

UHP Produkte werden nach internationalen Normen hergestellt, die Materialqualität, Reinheit und Zuverlässigkeit gewährleisten. Je nach Anwendung können Normen wie ASTM und EN gelten. Darüber hinaus werden viele Komponenten mit einem EN 10204 3.1 Materialzertifikat geliefert, sodass Herkunft und Qualität des verwendeten Materials vollständig rückverfolgbar sind.

Während der Produktion können Öl, Fett oder andere Verunreinigungen auf der Materialoberfläche zurückbleiben. Bei UHP Anwendungen sind diese Rückstände nicht zulässig, da sie die Reinheit von Prozessgasen negativ beeinflussen können. Deshalb werden UHP Komponenten gründlich gereinigt und sauber verpackt, sodass sie direkt für den Einsatz in kritischen Prozessen geeignet sind.

Die Wahl zwischen einem nahtlosen oder geschweißten UHP Rohr hängt von der Anwendung und den Prozessanforderungen ab. Nahtlose Rohre werden häufig eingesetzt, wenn maximale Festigkeit und ein vollständig homogenes Material gewünscht sind. Geschweißte UHP Rohre sind dagegen eine ausgezeichnete Wahl, wenn eine sehr glatte Innenfläche und eine konstante Oberflächenqualität wichtig sind. Beide Ausführungen sind für Anwendungen verfügbar, bei denen ein hohes Maß an Reinheit erforderlich ist.

UHP Anlagen werden für den Transport von sehr reinen Prozessgasen verwendet, die unter anderem in der Halbleiterindustrie eingesetzt werden. Dazu gehören Stickstoff, Argon, Helium, Wasserstoff und Sauerstoff, aber auch verschiedene Specialty Gases. Da diese Gase äußerst empfindlich gegenüber Verunreinigungen sind, ist es wichtig, dass alle Komponenten im Leitungssystem die strengsten Anforderungen an Reinheit und Dichtheit erfüllen.

Eine Metal Seal Armatur ist eine hochwertige Verbindung, bei der die Abdichtung vollständig aus Metall besteht. Im Gegensatz zu Dichtungen mit Elastomeren ist eine Metalldichtung beständiger gegen hohe Temperaturen, aggressive Prozessbedingungen und sehr hohe Anforderungen an die Dichtheit. Dadurch werden Metalldichtscheibe Armaturen häufig in UHP Anlagen eingesetzt, in denen maximale Zuverlässigkeit und Prozessreinheit entscheidend sind.

Selbst eine sehr kleine Leckage kann die Qualität eines UHP Prozesses negativ beeinflussen. Verunreinigungen aus der Umgebung können in das Leitungssystem eindringen und die Zusammensetzung der Prozessgase verändern. Dies kann zu Produktionsfehlern, Stillstand oder Qualitätsverlust führen. Deshalb werden in UHP Anlagen ausschließlich Komponenten eingesetzt, die für maximale Dichtheit und eine zuverlässige Abdichtung entwickelt wurden.

Nach der Produktion und Reinigung werden UHP Komponenten sorgfältig sauber verpackt, um das hohe Maß an Reinheit zu erhalten. Die Enden von Rohren und Fittings werden mit Schutzkappen geschützt und die Produkte werden so verpackt, dass Verunreinigungen während Lagerung und Transport vermieden werden. Dadurch können die Komponenten direkt in einer sauberen Produktionsumgebung verarbeitet werden.